膜厚控制仪具有*的电子学, 改进的显示器, 和非常高的性价比。

INFICON SQC310膜厚控制仪系列为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色. 同时可为您的应用选择理想的模式: 顺序镀膜 （SQC310） 或并行镀膜 （SQC310C）。

用于顺序镀膜, SQC310 装备有 2 个传感器输入, 2 个 源输出, 和 8 个数字输入/输出, 提供为这些数量加倍的扩展插件板选件. 用于并行镀膜, SQC310C 控制仪监测多。

至 4 个石英晶体传感器, 带有 4 个PID 控制输出, 16个数字输入, 和16个继电器输出, 与 SQC310 的规范相同。

特点：

1、高亮度,   VGA 活性点阵彩色LCD显示器 –可显示英文或中文。

2、标准 RS-232 和 USB （有以太网选件）。

3、易设置和操作，有“快速设置”菜单, 6 个上下文-敏感的按钮, 和方便的参数设定旋钮。

4、Windows   程序用于开发, 测试, 和下载工艺过程,   和将仪器数据记录至您的PC上, 用于过程分析与质量控制。

5、准确的过程控制, 尤其用于低淀积率, 在10 读值/秒时的分辨率为± 0.03 Hz, 在 0 至 50°C温度范围内的频率稳定性为± 2 ppm。

6、贮存容量高至100 个工艺过程, 1,000 个膜层, 50个膜系。

7、用单传感器或多传感器监测源材料, 提供准确的源分布监测。

性能支持：

我们的专长是您的竞争*性

INFICON 的办事处遍布, 是可提供您就地服务和性 — 包括提供 SQC310 系列的全部附件   如传感器, 馈入件和辅件的薄膜镀层控制仪制造商. 订购 SQC310 系列仪器 — 或任何其它 INFICON 产品 — 不管您在何处, 您将得到迅速的答复,亲临现场的服务, 和更大设备正常运行时间。

技术规范：

测量

SQC310 SQC310C

探头输入 2 （可选4个） 4

频率范围 4 至 6 MHz

频率分辨 ± 0.03 Hz, 在 0.10 秒测量周期内      频率稳定性  ± 2 ppm 总量, 0 至 50°C   测量速率   1至 10 Hz

速率显示 0.01   / 秒

控制

贮存 100 个过程, 1000 个膜层, 50 个膜系

控制输出 2 （4 可选） 4

输出讯号 ± 0 至 10 伏直流, 15 数据位

数字输入/继电器 8 （16 可选） 16

数字输入   5 伏直流 非隔离继电器  SPST 从 1安, 30伏, 2安 大接口 RS-232 和 USB （以太网可选） 遥控电源控制    可选

显示器

型号 1/4 VGA 320 x 240 活性点阵彩色LCD   图象 速率, 偏差, 功率 或 全屏数字    综合电源 100-240 伏交流, 50/60 Hz, 25瓦

遵守标准  CE Windows  软件 内含

外壳 / 安装 5 1/4”    - 机架