IMM-200 薄膜沉积监测仪让超卓可重复

通过精 确的速率和厚度监控保护和增加您的利润。

IMM-200是一款采用ModeLock技术制造的沉积监测仪，以zui高的厚度精度，上佳的测量分辨率和zui低的速率噪声非常大限度地提高再现性和均匀性。内置振荡器，IMM-200可以轻松集成到以太网系统中，硬件和占用空间非常小。这款功能强大且精 确的测量监视器一定会为您的过程带来新的性能水平。

功能

• INFICON 锁模技术可提供很长的晶体寿命，并确保即使在非常低的速率下也能实现非常稳定、非常高分辨率和厚度测量。

• 通过上佳的QCM厚度测量实现产量很大化

• 单通道速率和厚度监测器，无需不必要的附加功能，以很大限度地降低成本

• ±0.0035 Hz，超过 100 ms 样本

• 用于无缝集成的以太网通信

• 紧凑的尺寸，通过节省工具空间来非常大限度地降低集成成本

• 专家应用支持，能够讨论应用需求，并提供比竞争对手更大的支持

• 符合 RoHS 标准

典型应用

• 半导体制造

• 有机发光二极管应用

IMM-200 薄膜沉积监测仪