双级阀门

为了在有限的空间条件下实现系统的软抽真空，我们推荐使用 HPS 的 LoPro 双级阀门，它将一个低高度的隔离阀和一个小的旁通阀相集成，很大地简化了系统的安装并降低了成本。

LoPro双级阀特别适合在高真空中应用，尤其是应用在需要洁净环境的半导体或光学加工工艺中。该阀门具有慢速抽空的特点,减小了湍流，从而防止了沾污的产生和对产品的破坏。本页列出的该系列阀门有ISO-KF NW 25法兰、0.225 英寸旁通阀口径和Viton密封等类型，也可选择其它配置，请客户服务部门以获取更多的信息。需要更大尺寸的阀门,可参阅 NW40 或 NW50 LoPro 软启动双级阀或其他MKS的.

注:订购时,请在订货单的注释部分写明所需的气动电磁阀电压（ 24 VDC, 24 VDC, 120 VDC, 208 VDC, 220 VDC）零件编号 示例：LPV2-25-AK-225-CLVNH-120

NW 25 双级阀门