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50mm
请见下表生产级与测试级晶圆片标准规格。我们将竭诚提供符合您所有需要的晶圆片。
直径 | 50 +/- 0.5 毫米 |
种类 / 掺杂物 | P/Boron |
晶向 | < 100 > +/- 1º |
等级 | 测试级 |
电阻值 | 1 – 100 Ω-cm |
镜像电阻梯度 | — |
氧 | — |
碳 | — |
金属 | < 5 x E10 原子/ 平方厘米 |
厚度 | 279 +/-50微米 |
厚度变化 | <= 10微米 |
整体平整度 | |
弯曲度 | <= 50微米 |
平整度 | 1或2 SEMI标准值 |
颗粒数 | <= 20 @ >= 0.3微米 |
抛光 | 单面抛光或双面抛光 |
蚀刻 | 单面抛光或双面抛光 |
