Microchem SU-8 2000 系列
Microchem SU-8 2000 系列

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2024-05-16 19:07:38
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迈可诺技术有限公司

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产品简介

SU-8 2000化学放大，i线抗蚀剂非常适合制造 permanent性器件结构。 这些负色调，环氧基抗蚀剂表现出优异的耐化学性和低的杨氏模量，使其成为制造微/纳米结构的理想选择，如悬臂，膜和微通道。

详细介绍

MicroChem环氧树脂抗蚀剂由化学放大的环氧基负性抗蚀剂组成，它们具有高度功能性，光学透明性和可接近UV（365nm）辐射的可成像。固化膜或微结构是对溶剂非常抵扣的，酸和碱以及具有优异的热稳定性和机械稳定性，使其非常适合制造permanent结构，如像素墙，流体通道和喷嘴，微阵列和间隔物。

材料的使用：

  • PDMS模具制造
  • 结构部件，如微流体通道，显示像素阵列，墙壁和介电层
  • 干蚀刻掩膜
  • 快速成型

材料属性：

  • 旋涂薄膜从< 1µm＞75µM
  • 耐高温和耐化学性好
  • 光学透明
  • 兼容i-Line成像设备

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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