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便携式膜厚仪主要由以下系统组成: Α白炽-LED混合集成式光源系统,通过内嵌式微处理器控制,使用寿命超过20000小时。 小型光谱仪,光谱范围370nm –1050nm,分辨精度可达3648像素, 16位级 A/D 分辨精度;配有USB通讯接口; Β) FR-Monitor膜厚测试软件系统, 可精确计算如下参数: 1)单一或堆积膜层的厚度; 2)静态或动态模式下,单一膜层的折射率;本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库,可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率,透射率和反射率的测量,还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱,一次使用授权,即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。 C) 参考样片: a) 经校准过的反射标准硅片; b) 经校准过的带有SiO2/Si 特征区域的样片; c) 经校准过的带有Si3N4/SiO2/Si特征区域的样片; D) 反射探针台和样片夹具 可处理大的样品尺寸达200mm, 包含不规则的尺寸等; 手动调节可测量高度可达50mm; 可针对更大尺寸订制样片夹具; Ε) 反射率测量的光学探针 内嵌系统6组透射光探针200μm, 1组反射光探针200μm; F) 附件 FR-portable透射率测量套件;
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