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英国Agar Scientific:B7341自动型离子溅射仪
易于使用的基本溅射涂布机,用于SEM样品的金涂层
这是一种易于使用的基本仪器,用于SEM样品的金涂层。它具有*可变的电流控制,带暂停选项的数字处理计时器,可变高度的样品台,铰接顶板和O形密封真空室。该控制允许溅射电流独立于气体压力设定,气体压力可通过手动泄漏阀单独调节。覆盖率和粒度针对任何样品进行了优化。具有57mm直径目标的冷磁控管型头可以在小的加热下实现高效溅射。涂布时间由带有数字读数的定时器设定并存储在存储器中。真空状态和溅射电流显示在面板仪表上。
模块化桌面设计将溅射控制单元,泵送系统和厚度监视器组合在一个仅400 x 600mm的区域内。它采用快速释放全金属耦合系统*集成。可调节高度的样品台多可接受12针型短柱,也可用作其他类型短柱和样品的平台。为可选的膜厚监控器提供真空馈通。
Agar手动喷金仪(离子溅射仪)为英国进口设备,操作简单,适用于扫描电镜样品制备,可喷金、铂、金/钯、铂/钯、银等。
喷金仪使用小贴士:
1)需要溅射喷金的样品
a)*类样品是电子束敏感的样品,主要包括生物样品,塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;
b)另一类样品是非导电的样品,由于样品不导电,其表面带有“电子陷阱”,这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应,可在样品表面镀一层金属导电层,镀层作为一个导电通道,将充电电子从材料表面转移走,消除荷电效应。在扫描电镜成像时,溅射材料可以增加信噪比,从而获得更好的成像质量。
2)溅射材料
常用的溅射材料为金,导电性高。
喷金仪的真空度越高,所溅射的金属颗粒越小,可以减少样品表面形貌失真的情况。当需要超高分辨率成像时,选择高真空喷金仪,同时还可以选用其他溅射材料,如:铬,铱等,溅射的晶粒更细小。
自动型离子溅射仪
规格
室大小 120mmØx120mm高(4.75“x 4.75”)
溅射头 低压平面磁控管
快速改变目标
环绕式暗空间护罩
溅射目标 金标配(Au / Pd或Pt可选)
57毫米直径x 0.1毫米厚
溅射供应 基于微处理器
安全联锁
电流控制独立于真空
可变10 - 40mA
外形尺寸 W 420mm(16.5“),D 295mm(11.6”),H 287mm(11.3“)
重量 10公斤(22.1磅)
功率 大40VA(不包括旋转泵)