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概括
真空回流焊炉配备有一个由实心铝制成的热板，上面涂有陶瓷。另一个水冷板安装在热板下方。在冷却时，将冷板抬起并压在热板上，从而迅速冷却。此功能还可以在真空下进行冷却。
技术指标
真空回流焊炉
工艺环境： | 氮气，惰性气体，甲酸 |
Z高温度： | 400℃ |
加热面积： | ∅200mm |
加热板： | 固定：铝 |
加热板上方的间隙： | 50mm |
加热/冷却斜坡： | 120-150℃/分钟 |
控制偏差： | +/-0.5℃ |
加热元件： | 集成在加热板上的线圈加热器 |
加热控制： | 所有加热器通用 |
加热板冷却： | 举起冷盘 |
温度测量： | 1x固定和多3x自由定位热电偶K型 |
压力测量： | 集成压力变送器 |
Z大真空度： | 5x10-2mbar |
甲酸起泡器： | 40毫升容器，集成在前面板中 |
箱体冷却： | 水/乙二醇-一体式冷水机 |
盖观察口： | 80mm |
显示： | 7英寸液晶触摸屏 |
电脑软件： | 工艺记录，配方传输等 |
用户界面： | 继电器I/O的远程控制 |
外型尺寸： | 见布局 |
重量: | 35公斤 |
电源供应: | 220V，50Hz |
主营产品：
Laurell匀胶机
Harrick等离子清洗机
Thetametrisis膜厚仪
Microxact探针台
ALD原子层沉积系统
TRION反应离子刻蚀机
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻机
Novascan紫外臭氧清洗机
Nilt纳米压印机
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热板
Annealsys高温退火炉
Kinematic程序剪切仪
Laurell EDC系统，湿站系统
Wabash/Carver自动压片机
