UNIXX系列手动控制加热台HT20P

可处理基片达200 mm / 8英寸

手动控制单面烘烤系统

单面烘烤系统

可选项，还提供温度高达600°C的加热板

UNIXX系列手动控制加热台HT20P温度模块设计用于单面烘烤用于烘烤前和烘烤后的基材。带有气动升降销的烘焙模块配有一个手动PID控制器和计时器开关。 经过微处理（PID）控制器用于高测量温度控制准确性。 确定过程的设定值和参数用5场塑料薄膜键盘调节。可自由编程的定时开关有两个可调派生计时器和两个省略计时器。 与各种参数的可能性，两个输出触点和两个切换输入将允许使用任何一种应用程序可以使用的。 计时器可以使用前按钮和开关输入。

特点：

温度模块（气动）

加热板系统带有气动升降顶针

加热板模块（Z高300°C）

气动顶针

标准的顶针由不锈钢和PEEK制成（Z高250°C）

加热板表面上的真空管道用于固定基板

手动控制加热板的顶盖

集成式排气

手动控制器单元：

• 1个PID 控制器，用于在高测量时进行温度控制。通过调节薄膜键盘的5个键来设定关键参数。

• 1个计时器开关，带有两个可调微分计时器和两个延时计时器，并可以设置各种参数。

可以使用前按钮和开关输入来启动和停止计时器。

产品参数：

基板尺寸：大直径200毫米（直径8英寸）圆片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片；

温度范围：Z高300°C *，以1°C/步可调；

温度精度：在100°C时<士1°C；

升降针(1套）：直径50 mm（直径2英寸）到直径200 mm（直径8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）；

加热台表面：由硬质阳极氧化铝制成；

加热台顶盖：由微抛光不锈钢制成；

加热台外壳：由PP制成；

控制器单元：1个PID控制器，1个计时器；

电压：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫兹；

CDA：8 bar，管外径6 mm；

真空：-0.8 bar / -600bar，管外径6 mm；

排气炉：1 x 外径 40毫米，80立方米/小时；

主营产品：

Laurell匀胶机     

Harrick等离子清洗机

Thetametrisis膜厚仪  

Microxact探针台

ALD原子层沉积系统

TRION反应离子刻蚀机

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻机       

Novascan紫外臭氧清洗机

Nilt纳米压印机

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热板

Annealsys高温退火炉

Kinematic程序剪切仪

Laurell EDC系统，湿站系统     

Wabash/Carver自动压片机