德国osiris热板：HOTPLATES

设计用于以下应用：

SOFTBAKE（预烘烤）、HARDBAKE、

HMD（六甲基二硅氮烷）可选：蒸汽灌注、真空干燥

特点：

1.单面烘烤模块

2.不同的基材系统：最大 200/300 或 450mm

3.电子或气动顶销

4.具有不同顶部插入件的不锈钢举升销

5.控制器单元：半自动或手动

6.真空通道用于基板固定

7.集成式排烟

8.可选的：

  - 氮气吹扫（N2） - 提升销用于边缘处理

9.专为研发和小批量生产而设计

1.UNIXX HvT20

（直径200mm）用于HMDS底漆和真空脱水烘烤的台式加热板工具。

（可台式或独立式）

2. UNIXX HeT20

（直径200mm）带电子驱动提升销的台式加热板工具。

（或安装在台上

3.UNIXX HpT20

（直径200mm）带有气动驱动提升销的台式加热板工具。

（或台式）