测量台操作方式

手動

自動

测量行程

单位(mm)

170 × 110

300 × 280

移動量

X(mm)

70

80

Y(mm)

70

60

Z(mm)

80（測定物高zui大150）

50

測定物高（zui大）

80（150可选）

50

外形(mm)

600(W)×465(D)×730(H)

重量(kg)

79

85

测量台载重(kg)

3

1

電源

AC200V±10V

X線源

油浸式小型微焦点Ｘ線管
管電圧50kV
管電流可変

照射方式

上面垂直照射方式

検出器

比例計数管

准直孔

5種類(自動切換式)
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0φmm
(可选换如下准直孔)
：0.05×0.5,0.05φ

样品观察

CCD镜头

測定対象

原子番号22(Ti)～82(Pb)
原子番号21以下可应用吸收法测量

滤波器

 (Co、Ni)自動切換

厚度测定范围

原子番号22～24：0.2～約20μm
原子番号25～40：0.1～約30μm
原子番号41～51：0.2～約70μm
原子番号52～82：0.05～約10μm

検量線

検量線自動作成

测量功能

単层膜厚測定
2层膜厚測定
3层膜厚測定
合金膜厚成分比同時測定
无電解膜厚測定

测量模式

自動测量
X-Ray功率可选择

自動测量台功能

測定位置(X-Y-Z)
同一点重复测量功能
原点补正功能

測定位置确认功能
自動校正

数据処理機能

統計量表示：平均、標準偏差、zui大、zui小、方差、Cp、Cpk
饼图表示
柱状图表示
測定值立体图表示
ｘ-R管理图