GSL-1100X-6-S 是一款炉管内径为 6" 的真空管式炉 , 它可以在zui大5“的基片上生长多种薄膜(在不同气氛下). 该炉的zui高工作温度为 1100°C, 采用30段可编程PID数字温度控制器,温控精度: ±1°C。
技术参数
炉体结构 | - 双层壳体,循环风冷.
- 炉体表面温度< 70 ºC
- 采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能
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工作电压 | AC 220V |
功率 | 8KW |
炉管规格 | - 6" O.D x 40" 长
- 标配内包含一只石英管, 多余的管子可单独订购 (点击下图查看)
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加热元件 | NiCrAl 电阻丝 |
工作温度 | - 工作温度: 400 -1100°C
- 升降温速率: 10°C/min(max)
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加热区 | - 加热区总长: 600mm (24'')
- 恒温区长度: 中心200mm (精度±1°C)
- 在800℃时炉膛温度分布曲线( 点击下图查看)
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控温仪 | - 采用30段可编程PID数字温度控制器
- 设有一个额外的温度校准检测系统
- 双K型热电偶测温.
- 温控精度: ±1°C
- 软件接口、模块和PC机不在标配内需额外订购
- 可选: PC接口和软件
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密封法兰和进气接口 | - 不锈钢真空密封法兰双硅胶密封圈密封真空度可达到 (机械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在内
- 右端法兰上设有一个铠装热偶检测口和KF40真空接口. ( 如需对炉膛温度进行校准请订购36" 长 x 1/4"dia K 型热电偶)
- 包括两个高纯氧化铝或石英管堵,设备使用时右端必须安装管堵阻止热的辐射
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产品尺寸 | 炉体: 1000L x 680W x 920 H mm |
净重 | 250Kg |
保修期 | 整机保修一年,相关耗材除外。(如密封圈、炉管等) |
质量认证 | Certificate |