电源

AC 208~240V，单相 50/60Hz

紫外灯

• 可发出双波长的水银灯
• 功率：55W
• 发出光的波长：254 nm 和 185 nm 
• 使用寿命：2500 小时（可在本公司购买紫外灯来更换）
• 照射区域：200 x 200 mm

腔体&样品台

• 不锈钢壳体
• 抽屉式样品台，以便放样取样
• 样品台面积310 mm x 320 mm
• 臭氧通风装置安装在腔体上
• 样品台与紫外灯的距离：20mm -40mm（可调）
• 样品台可以加热，zui高温度可达150℃
• 可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃
• 设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时

排气口

• 直径为80mm的排气口安装在仪器后端
• 请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外
• 仪器中不包含橡胶管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
 

净重

28kg

质保期

一年质保期，终生维护（不包含紫外灯）

应用

• 去除分子级别的污染物
• 紫外光固化粘合剂
• 紫外光催化
• 氧化PDMS
• 表面消毒
• 刻蚀
• 清洗MEMS 器件
• 清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片