特点

• 采用高热传导率的AlN陶瓷片作为样品台，一根K型热电偶的探头直接与AlN陶瓷片的底部相接触。可通过磁铁推动热电偶和AlN陶瓷片在 密闭的石英管内移动
• 一款通过NIST认证的精密测温仪表与热电偶相连接，实时检测样品的温度。
• 一个磁铁嵌在氧化铝管堵内，另一个磁铁位于石英管外部，通过移动石英管外的磁铁，可移动石英管内的热电偶和样品台移动。
• 炉体可设置30段升降温程序，zui高工作温度为1200℃
• 仪器包括一石英舟，实验时可放置蒸发原料或基片。

功率

• 208 - 240 VAC, 50/60Hz   
• 1.5KW

zui高工作温度

1200℃

连续工作温度

1100℃

zui大升温速率

20℃/min

加热区

• 加热区长度：200mm
• 恒温区长度：60mm(+/-1°C)

温度控制部分

• 采用PID方式来调节温度，控温仪表上可设置30段升降温程序
• 控制器上设置有超温和短偶保护
• 可选：客户可选购MTS02-B控制模块和PC，来用电脑设置温度程序和导出温度曲线 
• 控温仪表操作视频

控温精度

+/- 1°C

加热元件

掺钼铁铬铝合金（表面涂有进口氧化锆涂层，可极大地延长加热元件使用寿命）

炉管尺寸

• 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x 800mm L
• 配有4个氧化铝管堵，实验时需在炉管两端放入管堵，以保证法兰的密封性
• 配有一个石英舟，用于盛放蒸发原料或基片 

真空法兰

配有一对不锈钢真空法兰，上面已安装了不锈钢截止阀和机械压力表

真空度

10-2Torr(用机械泵)

可选

• 可选购手动挡板阀与真空泵相连接
• 可选购快速连接法兰，数显真空计
• 针对于CVD和DVD实验，可选购多路供气系统

尺寸

• 炉体闭合时的尺寸：1055mm(L) × 300mm(W) × 400mm(H) 
• 炉体开启时的尺寸：1055mm(L) × 300mm(W) × 560mm(H) 

重量

22kg

质保

一年质保期，终生维护（不包含炉管和密封圈）

质量认证

• CE认证
• 所有电器元件（＞24V）都通过了UL/MET/CSA认证

使用注意事项

• 使用时，石英管内的气压不可大于0.12Mpa
• 石英管内处于真空状态是，使用温度不可高于1000℃