SOI薄膜（Si+SiO2+Si）

SOI薄膜（Si+SiO2+Si）

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2024-10-22 13:40:04
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中美合资合肥科晶材料技术有限公司

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产品简介

SOI薄膜（Si+SiO2+Si）

详细介绍

产品名称：

SOI基片（Si+SiO2+Si）

常规尺寸：

dia4" 镀膜层：20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped


技术参数：

国产SOI：膜层厚度可以按照客户需求加工

①顶层2um±0.5（5点）, BOX层2um±0.1 ,  P型，总厚度大约621um, 平整度LTV < 1um

②顶层3um±0.5（5点）, BOX层2um±0.1，P型，总厚度大约622um, 平整度LTV < 1um

电阻率Ω.cm：15-25 ohm.cm；

进口SOI：

点击查看：http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx


常规尺寸：

SOI

φ6″100>/<110>镀2umSiO2层镀2umSi层-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀0.2umSi层-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀1umSi层-1sp

SOI

φ6″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀1umSi层-1sp

SOI

φ6″-<100>镀0.375umSiO2层镀0.1umSi层-1sp

SOI

φ6″-<100>镀3umSiO2层镀220nmSi层-1sp


备注：

1000级超净室100级超净袋单片盒或25片插盒封装

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