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X射线荧光镀层测厚仪FISCHERSCOPE® X-RAY XULM® 和FISCHERSCOPE® X-RAY XULM® XYm X射线光谱仪,用于细小零部件上镀层厚度的无损测量和成分分析
用途 | 能量色散X射线荧光光谱仪 (EDXRF) 用于测量镀层厚度和材料分析 |
可测量元素范围 | 从氯(17)到铀(92),如使用选配的WinFTM® BASIC,可zui多同时测量24种元素 |
设计理念 | 台式仪器,测量门向上开启 |
测量方向 | 由下往上 |
X射线靶材 | 带铍窗口的钨靶微聚焦射线管 |
高压 | 三种可调高压:30 kV,40 kV,50 kV |
孔径(准直器) | 4个可切换准直器: 标准型(523-440):圆形Ø 0.1mm;Ø 0.2mm;矩形0.05 x 0.05mm;0.2 x 0.03mm 可选 (523-366):圆形Ø 0.1mm;Ø 0.2mm;Ø 0.3 mm;矩形0.3 x 0.05 mm 可选 (524-061):圆形Ø 0.1mm;Ø 0.2mm;矩形0.3 x 0.05 mm;0.05 x 0.05mm 可按要求定制其它规格 |
基本滤片 | 3种可切换的基本滤片(标准型:镍,无,铝) |
测量点大小 | 取决于测量距离和使用的准直器的大小,视频窗口中显示的就是实际的测量点尺寸,使用矩形0.05 x 0.05mm准直器,zui小的测量点面积约为Ø 0.1 mm。 |
测量距离,如样品为腔体时 | 使用保护的DCM(测量距离补偿法)功能: 测量距离为0 ~ 20 mm时,为已校准范围; 测量距离为20 ~ 27.5 mm,为非校准范围。 |
X射线接收器 | 比例接收器 |
二次滤波器 | 可选:钴滤波器或镍滤波器 |
视频显微镜 | 高分辨 CCD彩色摄像头,可用来观察测量位置十字线刻度和测量点大小经过校准 测量区域的LED照明亮度可调节 |
放大倍数 | 38 x ~184x (光学变焦: 38x ~ 46x; 数字变焦: 1x, 2x, 3x, 4x) |
样品台 | XULM | XULM XYm |
设计 | 固定样品平台 | 手动XY平台 |
X/Y方向zui大可移动范围 | - | 50 x 50 mm |
样品放置可用区域 | 250 x 280mm | |
样品zui大重量 | 2kg | |
样品zui高高度 | 240mm |
电气参数 | |
电压,频率 | AC 115 V 或 AC 230 V 50 / 60 Hz |
功率 | zui大为 120 W (测量头重量,不包括计算机) |
保护等级 | IP40 |
仪器规格 | |
外部尺寸 | 宽x深x高[mm]:395 x 580 x 510 |
重量 | 约45 kg |
内部测量舱尺寸 | 宽x深x高[mm]:360 x 380 x 240 |
环境要求 | |
测量时温度 | 10°C – 40°C / 50°F – 104°F |
存储或运输时温度 | 0°C – 50°C / 32°F – 122°F |
空气相对湿度 | ≤ 95 %,无结露 |
计算系统 | |
计算机 | 带扩展卡的Windows®个人计算机系统 |
软件 | 标准配置:Fischer WinFTM® LIGHT |
可选配置:Fischer WinFTM® BASIC, PDM®, SUPER | |
执行标准 | |
CE合格标准 | EN 61010 |
X射线标准 | DIN ISO 3497和 ASTM B 568 |
型式许可 | 型式许可符合德国”Deutsche Röntgenverordnung-RöV“法令要求的,有完善防护措施的测量仪器。 |