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等离子体原子/离子源
我司提供等离子体源是通过将气体分离来产生感应耦合等离子体,包括氮气,氧气和氢气等分子气体。使用1个射频线圈（频率13.56MHz）,能量将转化为等离子体，这会产生仅具有最低离子能量的”软”等离子体。
我司提供的这款电子束蒸发源是由高质量，*与高真空兼容材料构成，并且可以烘烤至250℃。
等离子体原子/离子源
应用范围:
氧化物
氮化物
掺杂
配置参数：
多种型号不同功率RF等粒离子体源可选;
在等离子体源终端位置可添加离子束加热器
自动匹配网络
等粒子体监测
手动/自动 挡板
放电管
适用气体，如O2, N2, H2, CH4等
占用空间小
冷却水流量低,
气体流速可控
