纳米压印-光刻机

纳米压印光刻的更好解决方案

桌面R2P纳米压印机与今天仍然主导行业的传统纳米压印工具相比，它是一种小型且具有成本竞争力的卷对板压印。这种智能技术是纳米压印光刻平面和卷对板 （R2P） 设备。

我们的卷对板NIL工艺使用压区压印工艺以及可调节的压印力，以最大限度地减少材料收缩，同时减少气泡问题。这种压印工艺减少了对基材一致性的要求，降低了成本，提高了产量。

在设计这款R2P纳米压印机时考虑到了节省成本，同时旨在制造具有高质量输出的机器;通过对每小时多达 60 个印版/晶圆进行定期性能评估，在大批量使用中不会影响质量。

纳米压印机可加快工艺周期

桌面式R2P纳米打印机通过快速测试新设计，允许开发周期的快速迭代;因此，它是原型制作的设备。

该设备使用户能够尝试和测试许多压印技术;光固化树脂和加工参数，如压力、速度和光强度。这些检查对于在大规模生产之前进行扩展非常有用 - 在内部构建原型的能力将节省时间和资源。台式R2P纳米压印机还允许从易于使用的DIY耗材开发压印模板

光学引擎设计，设备更简洁

该打印机包括光学引擎，该引擎提供具有被动冷却功能的长寿命（395nm）发光二极管（LED），以及可选的内置水冷功能，可满足各种曝光需求。

我们在光学引擎中使用发光二极管来生产更大的产量。这取代了气体放电管轻型发动机。光学引擎是台式R2P纳米压印机的重要组成部分，因为它提供了在我们的光固化树脂中产生快速化学反应所需的高度聚焦的光子能量，将聚合物状态从弹性变为塑料。

纳米压印-光刻机

台式R2P纳米打印机规格

最大印迹尺寸：最大 105 x188 mm （宽 x 长），

基板厚度：最大 11 mm

复制速度：每小时 60 次手动复制（速度高达 5 米/分钟）

速度范围 0.1 至 5 米/分钟。

光学固化引擎：长寿命395nm LED

最大功率：在 5 米/分钟时高达 120mJ/cm2。

设备尺寸和重量：670x380x320毫米（长x宽x高），26公斤