薄膜热物性基本测量单元 ：

测量室，真空泵，带加热器的支架，电子颊侧装置，集成锁相放大器，3w方法分析软件，计算机和应用软件。可测以下物理参数：

 l -热传导系数 (稳态法/平面内方向)

 r - 电阻率

 s - 电导率

 S - 赛贝克系数

 e – 发射率

 cp - 比热容

磁测量单元

可根据需求选择集成式电磁铁，可测物理参数如下：

 AH - 霍尔常数

 μ –迁移率

 n -载流子浓度

薄膜材料性能有别于块体材料之处

-        因小尺寸和高纵横比所导致的表面效应如：边界散射和量子限域效应

薄膜热物性系统主要特点： 
高效便捷的薄膜材料表征手段（nm到um薄膜测试）。
不同温度下的测量（-170 to 200℃<-可选300℃>）
样品易于制备和处理
高的测量适应性 （样品厚度，电阻率，沉积方式）
一个样品，一次同步测量即可获得所有相关参数。
适用于金属、陶瓷及有机材料。