MAIA3扫描电子显微镜多功能探测器及高空间分辨率，使 MAIA3 型超高分辨扫描电镜能观察到样品精细的表面细节。这对于纳米材料的综合表征，半导体工业中对电子束敏感样品及未镀膜的生物样品等非导电样品的成像都非常适合。

MAIA3扫描电子显微镜

突出特点

Triglav™- 新型超高分辨率(UHR) 电子光学镜筒

• TriLens™ 物镜系统：*的电子束无交叉模式与三物镜相结合；
• 具有多个 SE 及 BSE 探测器的探测系统；
  • TriSE™+TriBE™
• Triglav™ - 低加速电压下的超高分辨率: 1 nm ( 1 keV ), 0.7 nm ( 15 keV )；
• EquiPower™技术进一步提高电子束的稳定性；
• 电子束流高达 400 nA，并能实现电子束能量的快速改变；
• 优化的镜筒几何设计大可容纳8”晶圆
• 实时电子束追踪技术（In-Flight Beam Tracing™)可对电子束实时优化；
• 扩展的低真空模式，样品室气压能达到 500 Pa，实现不导电样品的观测；

• TriBE™具有三个 BSE 探测器，可以选择不同立体角的信号进行采集。位于镜筒内部的 Mid-Angle BSE 和 In-Beam LE-BSE 探测器，分别用于检测中角及轴向的高角背散射电子，而样品室的 BSE 探测器用于探测低角背散射电子。三个探测器可以提供不同衬度的图像，并且能探测到低于 200 eV 的低能背散射信号；
• TriSE™具有三个 SE 探测器，所有工作模式下二次电子信号的采集都进行了优化。位于镜筒内部的 In-Beam SE 探测器能在短工作距离下采集二次电子，SE ( BDM ) 探测器用于电子束减速模式下的超高分辨成像。In-Chamber SE 探测器能提供形貌衬度和立体感；
• 电子束减速技术（BDT）可在低至 50 eV 的低电子束能量下实现出色的分辨率（选配）。

MAIA3