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TESCAN S9000G扫描电镜是一款镓离子源的 FIB-SEM 系统,适用于超薄 TEM 样品制备和其它具有挑战性的纳米加工任务,这些任务要求设备具有分辨率、离子光学系统和纳米加工能力。TESCAN S9000G的 Triglav™ 型 SEM 镜筒具有超高的分辨率,特别是在低电压下;镜筒内探测器系统具有电子信号过滤能力,为获得更好的图像衬度和表面灵敏度翻开了全新的篇章。TESCAN S9000G 的 Orage™ 型 FIB 镜筒提供不仅为纳米加工提供了精度,还具备很高的离子束流,因此可以满足大体积加工和分析的需求。
TESCAN S9000G扫描电镜出色的低电压离子束分辨率和性能使得 TESCAN S9000G 有能力制备小于 20 nm 的、半导体器件质量的超薄 TEM 样品。此外,高达 100 nA 的大离子束流可以对生物样品和材料进行位置的、大体积 FIB-SEM 逐层扫描,图像也具有出色的衬度。TESCAN S9000G 使用了全新的 Essence™ 软件,软件用户界面友好,可以满足各类应用需求,可定制的软件布局以及自动化的样品制备功能,提升了操作便捷性和工作效率。