产品简介

扫描透射探测器是将透射电镜（TEMs）和扫描电镜（SEM）原理相结合的电子显微镜。它可以部分实现透射电子显微镜（TEM）的应用。STEM 探测器利用透射电子反映的*信息，扩展了 SEM 和 FIB-SEM 的成像和分析性能。它要求样品厚度小于 100 nm，并可结合元素分析技术，如 EDS 和透射模式 EBSD，以获得更高分辨率的显微分析信息

详细介绍

扫描透射探测器在不同角度散射的透射电子反映样品的不同信息，可获得以下信号：

明场像（BF）通常代表薄片样品的布拉格衍射取向和质厚衬度
暗场像（DF）包含部分取向衬度和轻元素的成分衬度
高角度暗场像（HADF）包含多的是成分衬度散射角取决于材料、薄片的厚度和电子束能量。

扫描透射探测器散射角取决于材料、薄片的厚度和电子束能量。

应用：STEM 探测器用于研究生物样品中的超微结构、半导体器件的失效分析和材料的表征。

TESCAN 开发了两种类型的 STEM 探测器，都可以用于 SEM 或 FIB-SEM系统，对于 FIB-SEM 系统而言，它有助于制备高质量薄片样品并进行原位分析，增强了仪器的分析能力。

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扫描透射探测器在不同角度散射的透射电子反映样品的不同信息，可获得以下信号：

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