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超高分辨率 扫描仪 台式扫描电镜EM-30
打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性, 利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像原理,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而可以获得更高的分辨率(<5nm),是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。
特点:
◆ 使用方便、体积小巧、对环境要求低;
◆ 分辨率高, 大样品仓;
◆ 自动马达台;
◆ 加速电压范围广;
◆ 可选配附件多:EDS、冷台;
超高分辨率 扫描仪 台式扫描电镜EM-30
技术参数:
分辨率 | 5nm@30kV SE |
放大倍数 | x15~x150,000 |
加速电压 | 1kV-30kV (1kV步进) |
电子枪 | 发叉式钨丝阴极 |
探测器 | 标配SE, 可选配EDS |
样品台 | X:35mm(马达驱动),Y:35mm(马达驱动),T:0~45°(马达驱动), R:360°(电子束旋转),Z :5 ~ 50mm |
样品座 | 通用7个样品桩的样品台; 通用30mm的样品台; 通用倾斜样品台; 通用截面台 |
试样尺寸 | 45mm(高),60mm(直径) |
图像模式 (像素) | Focus(160x120 ) ;RED (320 x 240 ); TV(640 x 480 ) ;Slow(800 x 600 ); Photo(1280 x 960 ,2560 x 1920 , 5120 x 3840 ) |
真空系统 | 机械泵、涡轮分子泵(小于3分钟) |
软件界面 | 全新的Nano Station 4.0TM |
自动功能 | 聚焦、灯丝、亮度、对比度 |
特殊功能 | 导航模式; 驾驶模式(通过控制杆操作); SE像; 线轮廓 |
外形尺寸 | 400(宽)×600(长)×550(高) |
操作系统 | Windows 10 |
操作 | 控制杆, 鼠标, 键盘 |