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CN三座标非接触测量显微镜
工作台行程 | 标配:X=150mm, Y=150mm, Z=100mm |
选配:X: 100mm~400mm;Y: 100mm~200mm;Z: 100mm-150mm | |
光学尺分辨率 | 标配:0.001mm闭式; 选配:0.0005mm闭式,0.0001mm开式 |
重复定位精度 | X,Y,Z: ≤0.0015mm |
重复调焦精度(倍率大于150X) | ≤0.0015mm |
系统不确定度 | 分辨率为0.001mm时:X,Y: (3.0+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm |
分辨率为0.0005mm时:X,Y: (1.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm | |
分辨率为0.0001mm时:X,Y: (0.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm |
部件名称 | 规格(标配) | 选件 | 备注 | ||
CCD工业摄像头 | 彩色CCD(1/2”) | 黑白CCD(1/2”) | 复合或标准视频 | ||
工业显微镜 | 连续变倍:1:10 1.5X物镜 (50~500X) | 连续变倍:0.7-4.5X; 工业内照明高倍率长工作距显微镜,物镜倍率:3X~100X | C-Mount接口 | ||
计算机系统 | 商用PC,98/2000/XP | 工业控制机 ,彩色喷墨打印机 | | ||
测量控制软件 | TDYMS V60CNC | | | ||
底座 | 花岗石00级 | | | ||
照明光源 | 透 6V20W,反21V150W可调卤素灯 | 外接照明 | | ||
工作台行程 (测量范围) | X:150mm,Y:150mm,Z:100mm | X:100-400mm,Y:100-200mm Z:100-200mm | Z轴带有粗微调机构,以满足不同高度工件的测量 (80mm 范围) | ||
驱动方式 | X、Y、Z:CNC电动 | JOG控制盒 | | ||
驱动电机 | 三相步进电机 | 伺服电机 | |