Chem 20™ 化学式粒子计数器
灵敏度: 20 - 100 nm
Chem 20™ 化学式粒子计数器
*的微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品，该粒子计数器需要经过高度过滤，适用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化学式粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度，是目前灵敏度ZEI高的高纯度工艺化学品粒子传感器。
来自化学品输送和包装系统的广泛数据证明，与其竞争产品相比，具有20nm灵敏度的PMS Chem 20传感器统计出的颗粒浓度较大，数据具有统计意义。 Chem 20化学颗粒计数器是非常有用的工具，在化学颗粒源影响工艺和设备性能之前，它使设备和工艺工程师能够快速检测并描述化学颗粒源。
特点
- *的激光光学和检测器使检测化学物质的灵敏度达到20 nm
- 车载化学流量计用于设定样品流量
- DI一个能针对低和高折射率化学品进行优化的颗粒计数器，以提高产品性能：
Chem 20传感器，用于具有较低折射率的化学品
Chem 20-HI传感器，适用于硫酸和其他高指数化学品 - 内部泄漏检测会在内部化学品泄漏时提供报警
- 低流量检测器和报警器，以确保数据*
- 宏观气泡探测器用于保护传感器性能
- 本地数据显示
优点
- 实时检测20 nm PSL和9 nm Au微粒
- 检测影响良率的粒子（竞争技术无法达到）
- 在扫描表面或得到数据之前，快速响应粒子偏移
- 优化化学品输送系统，覆盖从装卸码头到加工点的整个过程
- 改善样本的数据统计，加强过程工艺控制
- 针对不同洁净度的产品，使用两种视图模式优化仪器操作，拓展产品应用空间
- 传统数据采集系统能够灵活通信
应用
- 化学输送系统内的实时粒子监测
- 流程监控点
- 化学包装操作监控
- 化学过滤器性能和效率描述
- 化学处理部件的性能测试
