LiQuilaz®液体粒子计数S系列

灵敏度: S02: 0.2 - 2.0 µm, S03: 0.3 - 3.0 µm, S05: 0.5 - 20.0 µm

LiQuilaz® II 液体粒子计数S系列

LiQuilaz® II 系列液体粒子计数器是体积式粒子计数器，有不同的灵敏度，高灵敏度的粒子计数器可监测小至0.2um的粒子。她们为大多数工艺化学品提供高精密分析，例如高达306°F (150 °C)的热腐蚀剂。

LiQuilaz II 粒子计数器的测量结果具有准确性、可靠性和重复性，深受客户信任。 LiQuilaz II 粒子计数器具有RS-485和以太网网络通信功能，新功能提高了监测的灵活性，而且使安装变得更加简单。

体积式粒子计数器通过监测100%采样体积（多达80 毫升/分）提供高精确度的结果，所以短时间采样的数据结果也具有统计意义。

特点

• 特点
• 0.3 -3.0μm大小区间
• 流量是80 ± 10% 毫升/分钟
• 和广泛工艺化学品相兼容
• 体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
• 用户可选择的粒径值

优点

• 产量改进
• 实时表征和分析粒子污染，对粒子污染的反应速度快
• 全量监测，具有更高的监测精确度，适用于更严格的制程控制
• 可选购的软件具有报警设置、状态显示、采样设置、在线支持等功能，便于制程控制
• 支持广泛的应用和流体
• 配合压缩或是注射采样器使用
• 和不同管道标准兼容
• 嵌入、批次采样能力
• RS-485网络兼容
• 操作简易
• 体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
• 灵活的软件为实时或检索数据提供了许多可见的选择
• 用户可选择的粒子大小范围

应用

• 使用压缩采样进行冒泡的化学品测量
• 化学质量保证
• 工艺槽监测
• 去离子水监测
• 化学品传输系统
• 光刻胶监测