小型制氧机（空气分离制氧机）工艺流程：

1、空气压缩机：提供原料空气，为空气中的大气给予7bar的压力，以提供制造氧气的原料和空气中氮气和氧气分离所需要的压力；

2、空气净化系统：压缩空气经过高效除油器除去大部分油水，精密过滤器使油水含量小于0.1ppm，冷冻式干燥机使水分(露点)降到8-10℃，微油污过滤器使油水含量降到0.01ppm含尘量小于0.01u，活性炭过滤器使压缩空气油水量降到0.003ppm；
3、制氧机主机：经过净化干燥的压缩空气，在吸附器中进行加压吸附、减压脱附。一般在系统中设置两个吸附塔，一塔吸附产氧，另一塔脱附再生，通过PLC程序自动控制，使两塔交替循环工作，以实现连续生产高品质氧气；
4、小型制氧机氧气灌装系统：成品氧气经过氧气增压机使压力增加到15Mpa后可直接灌入钢瓶当中。