一、高纯度制氮设备流程说明：

空气压缩部分：空压机、空气储罐；

空气净化部分：高效除油器、精密过滤器、压缩空气干燥机、空气缓冲罐、活性炭过滤器；

高纯度制氮设备主机部分：吸附塔、PLC控制器、氮气粉尘过滤器、氮气储罐，以压缩空气作为原料和动力，通过变压吸附制取纯度为95%～99.9995%的氮气；

氮气纯化部分：利用碳载纯化装置（加氢纯化装置）对99.9%的普氮进行提纯，得到高纯度氮气（99.999%～99.9995%）。

二、组件说明：

空气压缩机：空压机是提供气源的主要部分，经过压缩的空气首先通入压缩空气净化组件除水、除油后进入空气净化组件。

空气净化装置：空气净化组件由高效过滤器、冷冻干燥机、精过滤器、超精过滤器、催化剂除油器等组成，压缩空气进入管道过滤器除去＞1μm的微粒及大部分的水，保障冷冻干燥机和后级过滤器的正常使用，经冷冻干燥机使之强制冷却到5℃左右，使空气中的水汽凝结成水，通过分水过滤器分离并过滤后，由排污阀排出，使压缩空气露点达到-10℃，经精过滤器过滤＞0.01μm的微粒及油水，再进入超精过滤器过滤油、水;过滤精度＞0.001μm,经除油器中的活性碳吸附残余的微量的油雾，得到洁净的压缩空气通过管道进入氮氧分离系统,保证分子使用长寿。

空气储气罐组件：空气储气罐其作用是保证系统的平稳用气，降低气流脉动，起缓冲作用，从而减小系统压力波动，使压缩空气平稳地通过压缩空气净化系统，以便充分除去油水杂质，减轻后续PSA氧氮分离装置的负荷。同时，在氧氮分离系统进行周期工作切换时，也为氧氮分离系统提供短时间内迅速升压所需的大量压缩空气，从而使吸附塔内的吸附压力很快上升到工作压力，保证了设备稳定运行。

氧氮分离系统：氧氮分离系统是制氮机的核心部分，由两只吸附塔、压缩装置、程控阀、等部件组成，我院采用高品质的进口阀门，无泄漏使用寿命长达300万次以上，为整套装置提供了可靠的性能保障。

氮气缓冲罐：氮气缓冲罐主要是由缓冲罐、粉尘过滤器、流量计、调压阀、节流阀等组成，以用户现场提供稳定的氮气源。

总结：通过以上的方案剖析，我们可以对制氮机结构及组成有了一定的认识和理解，但对于不同的环境工况以及不同的工艺使用条件，设备在配置会有一定的选择性。