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XYθ（Theta）对位平台直线电机多轴平台基于与伺服控制技术相互两全的高性能控制平台。
可对应定位精度、速度稳定性、长行程、客制品等各种要求。
也可构建X、XY、Xθ（Theta）、XYθ（Theta）轴平台。
行程100-21300mm.
XYθ（Theta）对位平台直线电机多轴平台结构紧凑、低组装，大中空孔，高动态性和优异的几何性能。
平台从需要高动态性和微米级直线度的双面晶圆加工，到由DX B、ARC无铁芯电机驱动的准静态光学量测,需要高精度和精确的几何性能。
应用场景
对位平台
XYθ对位平台
UVW对位平台
对位系统
网印视觉对位
COG视觉对位
切割对位系统
曝光对位系统
贴合机对位系统
装配视觉对位
该平台属于LMH三轴平台系列，具有高分辨率，高重复定位精度，广泛应用于光学测量仪器，晶圆对准，LCD面板检测，半导体处理，激光切割和钻孔，复合机等.
