飞纳电镜操作过程自动化:背散射电子和二次电子混合像
时间:2018-09-26 阅读:1628
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复纳科学仪器(上海)有限公司 -
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当入射电子束击中样品表面时,会产生二次电子和背散射电子,检测并收集这些信号从而形成图像。二次电子是由样品的核外电子的非弹性散射产生的,如图1左图所示。二次电子(SE)是低能量电子(通常小于50eV),容易被吸收。这就是为什么只有从极薄的样品表面中产生的二次电子才能被探测器收集的原因。