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使用飞纳电镜实现扫描电镜图像自动化分析

时间:2018-10-10      阅读:1973

脚本是一种小型的自动化软件,它可以帮助扫描电镜(SEM)操作者更地完成他们的工作。在之前的博客中,介绍了如何使用飞纳台式扫描电镜编程接口(PPI)获取扫描电镜(SEM)图像。在这篇博客中,将介绍如何从这些扫描电镜(SEM)图像中获取样品的物理属性从而实现对样品的分析。

 

扫描电镜(SEM)自动化工作流程

 

使用扫描电镜获取图像通常包括如图1所示的几个步骤,其中,四个步骤可以使用PPI进行自动控制:

 

1.图像采集

2.分析

3.评估

4.生成报告

 

在图像采集(步骤1)中,图像可以由PPI和飞纳扫描电镜自动获取。在分析(步骤2)时,我们可以从图像中获取样品的物理属性,然后根据这些物理属性对材料进行评估(步骤3)。后,步骤(4)将自动生成报告,并将结果报告呈现给用户。

 

图1:扫描电镜工作流程(主要操作步骤)

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