Max. Tem最高温度

1200℃

Heating zone length加热区长度

440mm

Constant zone length恒温区长度

200mm

Temperature Controller

控温方式

模糊PID控制和自整定调节

智能化30段可编程控制

超温和断偶报警功能

操作界面为7”工控电脑

Heating Elements

加热元件

电阻丝（掺钼铁铬铝合金）

Temperature Accuracy

控温精度

+/- 1℃

Processing tube

炉管

尺寸：Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

炉管转速：3~13r/min

Furnace body inclination angle

0~35°（adjustable）

PE source PE源

Signal frequency信号频率

13.56 MHz±0.005%

Power output range功率输出范围

0-500W

RF output interface射频输出接口

50 Ω, N-type, female

Power stability功率稳定性

≤5W

Gas supply system气路系统

High precision mass Flowmeter（Range optional）

高精度质量流量计（量程可选）

Accuracy准确度

±1.5%

Response accuracy响应精度

·±0.2%

Response time响应时间

气特性

电特性

Working pressure difference range工作压差范围

0.1～0.5MPa

Max. pressure最大压力

·3MPa

Connection 连接头类型

Φ6mm双卡套不锈钢接头

Vacuum unit真空系统

KF25 series bellows and manual stopper valves

采用KF25系列波纹管和手动挡板阀

Vacuum up to10-1Pa

真空度可达10-1Pa

The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester  

数显真空测试仪可直观的显示数值