性能特征：

· 旋转且可倾斜样品台

· 高质量镀层厚度（2nm 金膜）.

准确的可重复性能

均匀沉积厚度

复合样本固定器

· 全自动控制

低耗冷却系统，无需冷却样本及样品台

低压溅射

20nm（或20埃）

微电子控制

聚碳酸脂安全壳体

仪器参数：

二、EMS575 HIGH RESOLUTION SPUTTER COATER（EMS575X和EMS575T）

    EMS-575T是一款涡轮泵双头高分辨率喷金仪。EMS-575T样本放置在旋转样品台上（the rotary stage），盖好盖子（the chamber lid），按下启动按钮，涡轮分子泵开始加速，5秒钟后，机械泵开始启动，同时十秒气体排空程序启动，两个泵同时运行确保一个高真空。当涡轮泵加速，它的速度由柱状图来标示，到达速度的一半时，真空计扭至自动状态。当腔内气体压降为10-4 mbar，排气开始，腔内气压维持在1 x 10-2 and 1 x 10-3 mbar之间，排气的蕞后阶段，靶材按照预订镀膜时间开始喷镀。镀膜需要两种不同金属的，不需要关泵，继续溅射另一种金属。喷镀完成后，两个泵停止，排气阀排气。 

    仪器质保期2年。模块化的单元结构使得仪器维护方便，摘掉问题模块，换上无问题的模块，仪器即可很好的运行，一点不会耽误实验进程。

性能特征：

· 全自动一键式操作，微处理器数字控制方式，可预设参数

· LCD屏实时显示状态参数

· 质保期：标准保修期为一年

· 高分辨率精细镀层（不超过0.5nm的铬颗粒大小）

· 薄金属镀层，典型5nm厚

· 涡轮分子泵

· Peltier冷却双溅射头，无需冷却水

· 双溅射头：一次真空条件下，可顺序溅射两种不同的材料，对于需要依次喷镀两种金属的样品特别适用

· 磁控溅射靶源设计

· 旋转机械泵为备用泵，机械泵为外部安装式

仪器参数：

三、EMS650和EMS650T

    EMS 650配套装有直径60mm、厚度0.1mm的金靶（用户可以选择其它材质的靶材）；面板式控制，蕞佳的人性化设计；溅射参数可预先设置，包括控制排气的电磁阀（自动控制），可以获得准确的可重复的镀膜厚度；溅射头互锁，EMS 650和EMS 250镀碳配件通用；EMS 650可控制独立的真空泵。EMS 650T是在EMS 650基础上加装了一个功率为60L/秒的涡轮增压泵，能够获得更高更洁净的真空。

性能特征：

  全自动控制

  低能冷却系统（（功率是6W）

  低电压溅射（100V，DC;每分钟温度升高不到2°C）

  镀膜厚度准确（2nm金粒）

  准确的可重复性

  镀膜厚度20nm或200A（扫描电镜）

  微电子控制

  三个靶台同时溅射

  聚碳酸脂安全外壳

产品参数：