本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

技术参数

1、电源：AC 220V   50Hz/60Hz  2.5KW

2、炉管旋转转速：0-7rpm

3、炉体倾斜角度：0-30°

4、加热区域：400mm

5、工作温度：最高1200℃（<2h），连续工作1100℃

6、控温精度：±1℃

7、产率：2kg/炉

8、最大真空度：4.5×10-2torr

9、泄漏率：<0.1mtorr/s

产品规格

尺寸：1300mm×600mm×1200mm；重量：100kg

可选配件

1、310A不锈钢管（外径Ø60mm，内径Ø50mm，1220mm，工作温度800℃）

2、MTS-02控制模块