微型PECVD系统_PECVD系统-上海添时科学仪器有限公司手机版

产品简介

这款微型PECVD系统，其腔体为 3*dia× 16“L的石英腔体，而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热，此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上，以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃，采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。

详细介绍

    等离子源：

    等离子体射频电源：110V或220VAC,50/60Hz,<100W

    输出频率：13.56MHz

    三档射频功率大小：7.2W.10.5W和18W（可调节）

    腔体尺寸：3"ODx2.7"IDx16"L

    仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2torr（用机械泵)

    滑动法兰：

    •有一滑轨法兰安装于移动架上，以便于样品的放入和取出。

    样品可以放入加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。

    •加热圈尺寸：50mmODx40mmIDx70mm，可使样品达到的温度为400℃

    •加热圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩，以减小热量损失

    •温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为：+/-1℃

    输入电源：AC220V

    两通道混气系统：

    •混气箱上安装有两个浮子流量计，其量程为10-100SCCM

    •三个机械压力表：-0.1-0.15MPa,

    •混气箱上安装有304不锈钢针阀

    •配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

    •混气箱尺寸：340Lx300Dx180H,mm（13.4"x12"x7")!

    净重:141bs.

    真空和气体接口：

    标准的真空配置有

    •一套3”的不锈钢法兰（上面安装有KF-25的真空泵接口，一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)

    •一根KF25的波纹管（长度为1m)和三KF25卡箍

    •一个数字式真空显示计

    •等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2,Ar,Air,以及各种混合性气体。

    •可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处

    (注意:不可通入易燃易爆性气体)

    真空泵：

    •仪器中配有一双旋机械真空泵，其抽气速率为120L/min,

    进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr

    移动架：

    设备中配有—600Lx600Wx600H（mm)的移动架，整个CVD系统可以安置于其上面

    仪器尺寸：

    •等离子源：8.5"Hx10"Wx8"D

    •温控盒：4"Hx10"Wx8"D

    移动架：600x600x600mm

    重量：

    701b(包含真空泵)

    质保期：

    一年质保期（不包含石英管和密封圈）

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