ROOKO/瑞柯 品牌
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FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
FT-330 Series common four probe resistance ratio test instrument
一. 描述Description:
采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,提供通讯接口,PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.
二.四点探针测试仪参照标准standard:
硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国家标准设计制造;GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
三.适用范围Applicable scope:
适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析半导体材料质量的工具;液晶显示,自动测量和系数补偿,并带有温度补偿功能,自动转换量程;采用AD芯片控制,恒流输出,选配:PC软件,保存和打印数据,生成报表
用于:覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试等相关产品
四.四点探针测试仪型号及参数Models and technical parameters
规格型model FT-331 FT-332 FT-333 FT-334 FT-335 FT-336
1.方块电阻范围Sheet resistance 10-5~2×105Ω/□ 10-4~2×105Ω/□ 10-3~2×105Ω/□ 10-3~2×104Ω/□ 10-2~2×105Ω/□ 10-2~2×104Ω/□
2.电阻率范围Resistivity 10-6~2×106Ω-cm 10-5~2×106Ω-cm 10-4~2×106Ω-cm 10-4~2×105Ω-cm 10-3~2×106Ω-cm 10-3~2×105Ω-cm
测试电流范围
Test current 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 10μA,100µA,1mA,10mA,
100mA 0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
4.电流精度 Current accura ±0.1% ±0.2% ±0.2% ±0.3% ±0.3% ±0.3%
5.电阻精度Resistance ≤0.3% ≤0.3% ≤0.3% ≤0.5% ≤0.5% ≤0.5%
6.显示读数display 液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
7.测试方式test mode 普通单电测量
8.工作电源power 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W
9.误差errors ≤4%(标准样片结果 Standard Sample results)
10.选购功能choose to buy 选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.标准电阻
11.测试探头Test probe 探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球
温馨提示:半导体材料测量,我们提供四探针法,低阻,高阻,双电组合法,普通单电法,以及高温电阻率测试仪系列,欢迎和我们保持联系---瑞柯仪器