仪器型号

HPA/HPD500S

HPA/HPD1000S

HPA/HPD1500S

HPA/HPD2000S

HPA/HPD3000S

测量范围

0 - 550mm

0 - 1050mm

0 - 1550mm

0 - 2050mm

0 - 3050mm

光栅尺长度

0 - 570mm

0 - 1070mm

0 - 1570mm

0 - 2070mm

0 - 3070mm

HPA全量程zui大允许误差

0.7+（L（mm）/1000）µm

HPD全量程zui大允许误差

0.5+（L（mm）/1000）µm

测力

0-12N连续可调

重复性（2S）

0.2µm

zui高分辨率

0.1µm

zui大移动速度

1.5m/秒

工作台

可自由沿X方向移动，测量无需辅助支撑

测量显示单元

HPA: 数据处理显示器 /  HPD: PC电脑数据处理系统，LCD液晶显示器

头座微调范围

10mm

环境温度

+10℃ - +40℃

环境湿度

20% - 80%

重量

130kg

180 kg

220 kg

260 kg

320 kg