美国康宁Corning Tropel Flatmaster 100平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等，为精密部件的制造商提供了业界的平面度及表面形态测量。

通过非接触式光学测量技术能在很短 的时间内记录下整个表面的数据。

Flatmaster 100平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度，能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。

FM100美国康宁平面度测量系统技术特点及应用领域：无接触和无损伤测量
适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面

FlatMaster 100 平面度仪可测量技术参数： 
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓；

完整的平面度检测和分析系统： 
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度

FM100美国康宁平面度测量系统可测量多种不同指标：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
完整的分析系统：
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
超过15年的工业应用，几百台的装机量

 
技术参数：
重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
分辨率：5nm （0.2μ″）
可测量工件尺寸：5mm-100mm（更小工件也可提供）
动态测量范围：>50um
测量数据点：230,000百万 / measurement
测量时间：5秒
电源：～220V 50Hz

美国康宁Flat master 100平面度测量系统应用实例：
Tropel FlatMaster100能测量物件的zui大尺寸100mm。客户化的定制能够满足不同用户对动态测量范围、精度和功能部件等内容的不同需求。
FlatMaster 100平面度测量设备采用激光干涉原理，一次性测试整个平面，同时获取230,000个点的数据，应对产品表面的划痕，沙眼，崩角，凹凸不平，毛刺等问题可以直观的显示在测量结果
中。
FlatMaster100配备由美国标准局NIST出具证书的可追溯的标准片，可随时验证机器性能，使得测量数据更具备说服力与可靠性。
在您的工厂或车间里添加平面度测量仪能够使制程、良率和生产率得到*的提升。