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美国康宁Flat Master 100平面度仪
美国康宁Flat Master 100平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等,为精密部件的制造商提供了业界的平面度及表面形态测量。
通过非接触式光学测量技术能在很短 的时间内记录下整个表面的数据。
提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度,能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。
美国Flat Master系列平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, 创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科学领域产品的关键组成部分。
无接触和无损伤测量
适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,超光滑面
FlatMaster 100 平面度仪可测量技术参数: 厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓;
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
完整的分析系统:
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
超过15年的工业应用,几百台的装机量
重复性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
分辨率:5nm (0.2μ″)
可测量工件尺寸:5mm-100mm(更小工件也可提供)
动态测量范围:>50um
测量数据点:230,000百万 / measurement
测量时间:5秒
电源:220V 50Hz
上海量博实业有限公司专业供应的Tropel® FlatMaster100能测量物件的zui大尺寸100mm。客户化的定制能够满足不同用户对动态测量范围、精度和功能部件等内容的不同需求。
FlatMaster 100平面度测量设备采用激光干涉原理,一次性测试整个平面,同时获取230,000个点的数据,应对产品表面的划痕,沙眼,崩角,凹凸不平,毛刺等问题可以直观的显示在测量结果
中。
FlatMaster100配备由美国标准局NIST出具证书的可追溯的标准片,可随时验证机器性能,使得测量数据更具备说服力与可靠性。
在您的工厂或车间里添加平面度测量仪能够使制程、良率和生产率得到*的提升。