美国康宁Flat Master 40平面度仪

 
美国康宁Flat Master 40平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等，为精密部件的制造商提供了业界的平面度及表面形态测量。
通过非接触式光学测量技术能在很短 的时间内记录下整个表面的数据。
提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度，能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。
美国Flat Master系列平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, 创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科学领域产品的关键组成部分。

Tropel FlatMaster 40平面度仪/FM40平面度测量仪技术特点：
无接触和无损伤测量
适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面

美国康宁FlatMaster 40平面度仪/FM40平面度测量仪技术参数：
重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
分辨率：5nm （0.2μ″）
可测量工件尺寸：5mm-40mm（更小工件也可提供）
动态测量范围：>50um
测量数据点：230,000 / measurement
测量时间：5秒
电源：220V 50Hz