Parker派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上*微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制，提高了MFC（质量流量控制器）的性能，这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成，以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.

　　减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体，为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计，提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹，这样大限度减少粒子生成和截留，进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.

　　Parker派克SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean? 316L不锈钢。Vericlean? 是派克公司的UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22?。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合，使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命，入口压力高达250.

　　SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口，符合SEMI模块化接口规范.

　　SMSQ2Micro系列减压阀的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.

　　Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列市场:

　　✈半导体

　　✈分析试验室

　　✈制药

　　✈生物制药

　　✈航空航天

　　✈工业

　　特点和优势:

　　✈有C 和 W密封贴面安装1-1/8和1-1/2

　　Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀体尺寸

　　✈极低粒子数

　　✈束缚膜片有效减少接液部件的弹簧，增加安全性

　　✈SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv

　　✈出口压力范围： -10 psig 到 60 psig

　　✈内漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He

　　✈外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He

　　✈5微英寸(Ra粗糙度)电解抛光表面处理

　　✈工作压力范围：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)

　　应用:

　　✈腐蚀性和特殊气体

　　✈半导体工具

　　✈工具挂钩

　　✈气体柜

　　✈阀组箱 (VMB)

　　Parker派克汉尼汾调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀门优点:

　　- 符合SEMI模块化接口规范

　　- 易于部件改装

　　- 标准的哈氏合金C-22? 提升阀芯和膜片

　　- 占地面积小，可与Veriflo Quantum阀门的间距相同

　　- 标准的全内部电抛光

　　- 没有弹簧或螺纹暴露在湿润区域中

　　- 极低的颗粒数

　　- 有0.06和0.15 Cv两种规格可供选择

　　Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀门相关型号：

　　订货号        流体容量（Cv）  压力范围（psig）      型号

　　45800745-1     0.06          30 psig          SMSQ2MICRO30102

　　54015923-1     0.06          30 psig          SMSQ2MICRO30602

　　45800745-2     0.06          60 psig          SMSQ2MICRO60102

　　54015923-2     0.06          60 psig          SMSQ2MICRO60602

　　45800978-1     0.15          30 psig          SMSQ2MICRO130E30102

　　45800978-2     0.15          60 psig          SMSQ2MICRO130E60102

　　54016395-2     0.15          60 psig          SMSQ2MICRO130E60602

　　另外还有一个SMSQ2MICRO130E30602独立型号。45800978-2

Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo