Parker派克派克930系列1-1/8英寸不锈钢阀体隔膜阀提供优异的泄漏完整性，高循环使用寿命和低颗粒发生，非常适用于UHP半导体应用。

　　派克汉尼汾的930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计，可大限度地减少颗粒产生和截留，减少半导体应用中必布可少的工艺污染。该系列阀门的严格设计，控制阀座和隔膜应力，以提供稳定和免维护的使用寿命。Parker派克930系列阀门润湿部件由特种金属制成，提供桌越的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的Vericlean™  316L不锈钢材质。 Vericlean™  是派克的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。 930系列还提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮树脂（PEEK® ）和聚酰亚胺（Vespel®）材质的阀座，可使930阀门与多种工艺流体相兼容。这些材料结合Parker派克930系列严格的设计特点，给予了美国Parker派克930系列产品在入口压力高达300 psig时的耐腐蚀性和更大循环使用寿命。

　　Parker派克930系列气动阀可以配置限位开关或接近开关，用以提供开 - 关位置指示。还有多种阀体构造可选，包括派克930Y系列（Y型阀）和SM930系列（面板安装）。

　　Parker派克930系列阀门上内部（阀座）密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试，以适应在苛刻的UHP应用中，保有其性能和稳定性。

        ●标准表面处理5微英寸Ra                      ●内部无螺纹，无弹簧

        ●从真空到300psig都能正常工作            ●高循环寿命（包括腐蚀性服务）。

        ●100%氦气泄漏测试                             ●标准的全内部电镀

        ●最小的颗粒产生和颗粒夹带区域

　　Vericlean™ ，Veriflo的低硫高纯度316L不锈钢增强了电抛光、焊接和抗腐蚀能力

　　市场：

　　√半导体

　　√分析实验室

　　√制药

　　√生物制药

　　√航空航天

　　√工业

　　特点与优势：

　　√电抛光表面光洁度：5微英寸（Ra）

　　√高循环使用寿命（包括耐腐蚀性服务）

　　√内部无弹簧和无螺纹设计可大限度地减少颗粒产生和气体截留

　　√全压力范围使用:从真空到300 psig

　　√内部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He

　　√外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He

　　√AOP驱动，额定压力为75 psig

　　应用：

　　√腐蚀性气体和特种气体

　　√半导体工具

　　√工具连接

　　√燃气柜

　　√阀组箱（VMB）

　　Vespel®是杜邦高性能弹性体L.L.C.公司（DuPont Performance Elastomers L.L.C.）的注册商标。

　　Vericlean™  是派克汉尼汾公司（Parker Hannifin Corporation）的商标

　　PEEK™ 是威格斯公司（Victrex plc）的商标。

　　Parker派克UHP隔膜阀930系列现货销售尺寸图：

　　Parker派克UHP隔膜阀930系列现货销售先关型号：

　　45700048

　　45700047

　　45700041

　　45700372

　　45700207

　　45700373

　　45900260

　　45700051

　　45700154

　　54011671

　　45901320

　　54011831

　　930AOPLP1NCSFSFM

　　930AOPLP1NCSFSMF

　　930AOPLP1NCSFSMM

　　54011226

　　54016192

　　930AOPLPNOSFSMF

　　930AOPLPNOSFSMM

　　45700506

　　54014915

　　54014963

　　45700507

　　54011152

　　54021913

　　54023885

　　930ISFSMF

　　54021915

　　930ISTS

　　54021821

　　930KSFSFM

　　930KSFSMF

　　930KSFSMM

　　54021150

　　930LPHYSFSFF

　　930LPHYSFSFM

　　930LPHYSFSMF

　　930LPHYSFSMM

　　930LPHYSTS

　　45700186

　　45700405

　　45700182

　　45800447

　　45800274

　　45700661

　　Parker派克930系列阀门是为半导体OEM和工艺晶圆制造的超高纯度应用而设计的。

　　Parker派克930系列有多种手动操作器和气动执行器可供选择。气动执行器提供LP（125 PSI）或MP（300 PSI）的操作范围。

　　手动阀和AOPMP（中压）阀的工作压力均为300psig，为该产品系列提供了更大的应用范围。