原位MEMS-TEM-STM多场测量系统（非定量力+电+光+加热）是一种革命性的原位透射电子显微镜实验系统，使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境（包括力，热，光，电等），从而对材料或者器件等样品实现多重激励下的原位表征。

• 光纤指标

△ 多模光纤外径250um，保证电镜系统真空指标;

△ 可选光纤探针、平头光纤;

△ 配备快速SMA接头、FC接头。

• 加热指标

△ 温度控制范围：室温至1000℃；

△ 温度准确度：优于5%；

△ 温度稳定性：优于±0.1℃。

• 产品特色

△ 可通过简单更换MEMS芯片种类以及不同STM探针为样品施加四种激励，实现多种复杂的测试功能，完成以往无法实现的研究；

△ 高温拉伸/压缩 (加热芯片+电学STM探针) ;

△ 热电子发射/场发射 (加热芯片+电学STM探针) ;

△ 三端器件测量 (电学芯片+电学STM探针) ;

△ 电致发光现象研究 (电学芯片+光学STM探针) ;

△ 光电现象研究 (电学芯片+光学STM探针) ；

△ 稳定性高：轻松获得大幅度运动中的高分辨像，适用于更广泛的应用场景和样品体系；

△ 超长的寿命：

△ 超低维护成本：设备配套的针尖制备系统可低成本制备针尖耗材。”爪-球“微动结构已实现模块化量产，维护成本低；

△ 庞大的用户群：在国内拥有近200个高质量原位用户，出口到欧美澳等地。每年，用户会产出大量高质量研究成果。定期组织各类用户交流活动，搭建学术平台供用户交流；

△ 成熟的技术支持网络：在安徽、北京、东莞和上海拥有分公司，其他各地拥有若干技术支持网点，24小时提供技术支持