莱宝残余气体分析仪RGALEYSPEC view 100
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LEYSPEC view 100莱宝残余气体分析仪RGALEYSPEC view 100

参考价: 订货量:
45000 1

具体成交价以合同协议为准
2019-01-21 17:58:18
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昆山熙日机械设备有限公司

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产品简介

LEYSPEC view 100 残余气体分析仪RGA
秉承莱宝Phoenix氦质普检漏仪精准、稳定、长使用寿命等优点,莱宝真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA残余气体分析仪,为半导体 、镀膜、冷冻干燥、热处理及科研等行业提供了更多的过程控制分析诊断支持.莱宝残余气体分析仪RGALEYSPEC view 100

详细介绍

LEYSPEC view 100 残余气体分析仪RGA

秉承莱宝Phoenix氦质普检漏仪精准、稳定、长使用寿命等优点,莱宝真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA残余气体分析仪,为半导体 、镀膜、冷冻干燥、热处理及科研等行业提供了更多的过程控制分析诊断支持.莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA的典型用途:检漏判断真空品质检测工艺气体提高品质和良品率故障诊断分析判断低温泵再生周期产品类别   产品系列分别提供了100、200、300原子质量单位的解决方案。
LEYSPEC view 100残余气体分析仪RGA

秉承莱宝Phoenix氦质普检漏仪精准、稳定、长使用寿命等优点,莱宝真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA残余气体分析仪,为半导体 、镀膜、冷冻干燥、热处理及科研等行业提供了更多的过程控制分析诊断支持.

莱宝残余气体分析仪RGALEYSPEC view 100

RGA2.jpg

真空系统泄漏示意图-安博元

image.png


莱宝残余气体分析仪RGALEYSPEC view 100

莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA的典型用途:

 

产品类别

   产品系列分别提供了100、200、300原子质量单位的解决方案。

 

莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA的典型应用:

 

Leybold Name

LEYSPEC view 100

LEYSPEC view 100S

LEYSPEC view 200

LEYSPEC view 200S

LEYSPEC ultra 200S

LEYSPEC ultra 300S

Mass Range (amu)

1-100

1-100

1-200

1-200

1-200

1-300

Mass filter type

QMS

QMS

QMS

QMS

QMS

QMS

detector type

Faraday   cup

EM/Faraday   Cup

Faraday   cup

EM/Faraday   Cup

EM/Faraday   Cup

EM/Faraday   Cup

Sensitivity (A/mbar)

1x10-5

400/1x10-5

1x10-5

400/1x10-5

400/2.5x10-4

400/2.5x10-4

Minimum detectable 
    partial pressure (mbar)

1x10-10

1x10-14

1x10-10

1x10-14

1x10-11

1x10-12

Max operating pressure (mbar)

1x10-4

1x10-4

1x10-4

1x10-4

1x10-4

1x10-4

Filament material

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

Ir/Y2O3

operating temp (°C)

10-40

10-40

10-40

10-40

10-40

10-40

Max sensing temp (°C)

120

120

120

120

250

250

Max. bake out temp (elec. removed) (°C)

250

250

250

250

300

300

connection flange

DN40CF

DN40CF

DN40CF

DN40CF

DN40CF

DN40CF

Power input

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

DC24V   +-10% 50W

Weight (kg)

2,6

2,84

2,6

2,84

3,21

3,21

IP

30

30

30

30

30

30

Serial communication

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

RS232C/RS485

Software

ECA

ECA

ECA

ECA

ECA

ECA

Resolution

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

M/DeltaM=1M(10%PH)

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