ULVAC/日本爱发科 品牌
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爱发科真空泵
¥1200爱发科显示器1CH数显式model ISG1-N真空表
¥8500宁波爱发科Gatch系列皮拉尼真空计SW1-N2
¥4500宁波爱发科Gatch系列冷阴极电离真空计SC1-N
¥12000爱发科真空计G-TRAN4频道显示器IM1R1/IM2R1
¥12000爱发科真空计G-TRAN 1频道显示器单元 ISG1
¥8800爱发科真空计G-TRAN系列SAU 压力传感器单元
¥6600复合真空计G-TRAN系列
¥12000日本爱发科*真空计 AxTRAN维修
¥5500日本爱发科电离真空计GI-M2/GI-D7维修保养
¥8800爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2
¥6500爱发科真空计G-TRAN多离子规SH2-1/SH2-2
¥5500日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修特点
适用于大型成膜装置、太空舱等。
拥有的排除水蒸汽的性能。
外形尺寸 (单位:mm)
日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修标准规格
排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 28,000 |
氢气 | 43,000 | ||
氩气 | 23,000 | ||
水 | 70,000 | ||
到达压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.7×103(20) |
氢气 | 7.4×102(5.6) | ||
排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 7.8×108(5.9×106) |
氢气 | 1.5×107(1.1×105) | ||
冷却降下时间 | min(Hz) | 240/200(50/60) | |
吸气口法兰 | VG-750 | ||
压缩机装置 | C30VR×2 | ||
质量 | Kg | 175.0 |
*维护间隔:16,000小时
U22H,U30是在贸易管理法规定中属于战略物资的出口管制品。
在出日本国境时请务必办理日本政府的出口许可申请等手续。
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