日本荏原EBARA干式真空泵EST100WN EST200WN

荏原制作所，离心泵理论的奠基者，创立于1912年（原名为井口式机械事务所），1920年更名为荏原制作所。经过近百年发展，荏原已在建立了101家子公司和18家参股公司，共有雇员近20000人，跻身于世界机械制造业500强，成为规模大的泵类产品制造企业之一，年销售额达45亿多美金，其中泵类产品年销售额超过22亿美金，位居世界泵类销量前2名。 日本荏原EBARA干式真空泵EST100WN EST200WN

荏原制作所在日本设有三家大型工厂：富津工厂（为了强化世界范围内的供货体制，将羽田工厂搬迁至富津工厂。富津工厂作为荏原泵制造据点母工厂，2010年开始运转）藤泽工厂（建于1965年，主要生产通用泵、制冷机、半导体和产用机器装置，是荏原制作所大的生产基地），袖浦工厂（主要生产压缩机、气轮机、燃气轮机和高速旋转机械）。 
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荏原的网络遍及。在海外有60家子公司，其中泵制造公司有15家，缩短了产品供货周期，快捷高效地服务于客户。1988年在意大利Brendola成立的荏原泵业（欧洲）有限公司，于1992年在意大利Trento省的Cles建立了工厂，成为欧洲大的不锈钢泵生产厂家。

荏原泵产品凭借其专业的技术和超高的产品质量获得世界各地*好评,被誉为“泵的巨人”。



干式真空泵在使用过程中常见故障：
1、泵卡死不能运转
2、真空度降低
3、起动困难
4、真空度抽不上去或抽上去稳不住
5、噪音大
69、电机发热

干式真空泵行业应用：
1. 分析仪器; 2. 电子显微镜; 3. 表面分析仪; 4. 检漏仪; 5. 质谱仪; 6. 光谱仪; 7. R&D; 8. 离子加速器; 9. 分子泵组; 10. 实验室; 11. 工业; 12. 灯泡生产; 13. 真空镀膜; 14. 深冷泵再生; 15. 电离清洁; 16. 干燥; 17. 上料预抽真空; 18. 需要特殊方案的特殊应用; 19. 已有的特殊版本; 20. He闭环回圈; 84. 超高真空系统分子泵背泵

为了满足全国各地区真空客户维修难、维修费用高等问题，苏州高真空维修中心成立维修保养服务工厂,拥有专业的技术工程师，维修工程师都得到原厂的正规培训，*有实力提供干泵的维修、保养服务。

昆山熙日目前主要维修的品牌：德国Pfeiffer普发干式真空泵,英国Edwards爱德华小型湿/干泵,日本ULVAC爱发科干式真空泵,法国Alcatel阿尔卡特干泵,美国Agilent安捷伦干式涡轮泵,德国Leybold莱宝干泵,日本EBARA荏原干泵,德国BUSCH普旭干泵,德国BECKER贝克干泵,美国WELCH韦尔奇干式WOB-L活塞泵,美国GAST嘉士达干泵,德国Rietschle里其乐干泵,日本Orion好利旺干式真空泵,日本IWATA岩田无油涡旋式干泵,日本Kashiyama樫山干泵。

Model EST系列

螺旋式真空泵 抽气速度：2,500-50,000L/min 适用于生成物较多的重制程 Model EST系列是新研发的*干式真空泵，采用了螺旋式转子，适用于生成物较多的CVD制程。 具有高附加价值：容许流入气体量大，耐腐蚀性，可调节排气速度，高通信处理功能，适应了 电力功耗低的工艺要求。

特点:
● 较适用于生成物较多的制程
● 具备高性能通信功能
● 排气速度快，容许流入气体量大
● 采用高度控制泵运转方式
● 转速自动调节功能
● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降 低的问题
● 可对应腐蚀性气体

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一、进口真空泵维修：
1、BOC EDWARDS(爱德华)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（汉钟）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、进口真空泵配件销售：
1、类型：真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、进口真空油销售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。