ESA70W(-D) ESA70WN(-D)日本荏原ESA70W(-D) ESA70WN干式真空泵
EBARA/荏原 品牌
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苏州市所在地
日本EBARA荏原干式真空泵ESA70W(-D) ESA70WN(-D)维修
荏原制作所,离心泵理论的奠基者,创立于1912年(原名为井口式机械事务所),1920年更名为荏原制作所。经过近百年发展,荏原已在建立了101家子公司和18家参股公司,共有雇员近20000人,跻身于世界机械制造业500强,成为规模大的泵类产品制造企业之一,年销售额达45亿多美金,其中泵类产品年销售额超过22亿美金,位居世界泵类销量前2名。 日本荏原ESA70W(-D) ESA70WN干式真空泵
荏原制作所在日本设有三家大型工厂:富津工厂(为了强化世界范围内的供货体制,将羽田工厂搬迁至富津工厂。富津工厂作为荏原泵制造据点母工厂,2010年开始运转)藤泽工厂(建于1965年,主要生产通用泵、制冷机、半导体和产用机器装置,是荏原制作所大的生产基地),袖浦工厂(主要生产压缩机、气轮机、燃气轮机和高速旋转机械)。
荏原的网络遍及。在海外有60家子公司,其中泵制造公司有15家,缩短了产品供货周期,快捷高效地服务于客户。1988年在意大利Brendola成立的荏原泵业(欧洲)有限公司,于1992年在意大利Trento省的Cles建立了工厂,成为欧洲大的不锈钢泵生产厂家。
荏原泵产品凭借其专业的技术和超高的产品质量获得世界各地*好评,被誉为“泵的巨人”。
日本荏原ESA70W(-D) ESA70WN干式真空泵
干式真空泵在使用过程中常见故障:
1、泵卡死不能运转
2、真空度降低
3、起动困难
4、真空度抽不上去或抽上去稳不住
5、噪音大
69、电机发热
干式真空泵行业应用:
1. 分析仪器; 2. 电子显微镜; 3. 表面分析仪; 4. 检漏仪; 5. 质谱仪; 6. 光谱仪; 7. R&D; 8. 离子加速器; 9. 分子泵组; 10. 实验室; 11. 工业; 12. 灯泡生产; 13. 真空镀膜; 14. 深冷泵再生; 15. 电离清洁; 16. 干燥; 17. 上料预抽真空; 18. 需要特殊方案的特殊应用; 19. 已有的特殊版本; 20. He闭环回圈; 84. 超高真空系统分子泵背泵
为了满足全国各地区真空客户维修难、维修费用高等问题,苏州高真空维修中心成立维修保养服务工厂,拥有专业的技术工程师,维修工程师都得到原厂的正规培训,*有实力提供干泵的维修、保养服务。
昆山熙日目前主要维修的品牌:德国Pfeiffer普发干式真空泵,英国Edwards爱德华小型湿/干泵,日本ULVAC爱发科干式真空泵,法国Alcatel阿尔卡特干泵,美国Agilent安捷伦干式涡轮泵,德国Leybold莱宝干泵,日本EBARA荏原干泵,德国BUSCH普旭干泵,德国BECKER贝克干泵,美国WELCH韦尔奇干式WOB-L活塞泵,美国GAST嘉士达干泵,德国Rietschle里其乐干泵,日本Orion好利旺干式真空泵,日本IWATA岩田无油涡旋式干泵,日本Kashiyama樫山干泵。
罗茨真空泵 抽气速度:30,000L/min 适合轻制程 Model ESA系列是新研发的*干式真空泵,具有优 越的高速排气性能,从而适应了LCD溅射制膜 装置,真空干燥制程,大型 L/L等工艺要求。并拥有高附加价值,对应气体 负荷自动控制转速,高通信功能等。
特点:
● 较适用于大型真空反应室的高速排气
● 具有高性能通信机能
● 转速自动调节功能
● 采用高度控制泵运转方式
● 采用大口径转子,设计上*小型
● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低
● 也可用于有机溶剂排气上用的特别规格
Model ESA系列 | ||||||||
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Model | ESA15-D | ESA25-D | ESA70W(-D) ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF ESA80WN-HDF | ESA100W ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W |
Pumping-Speed (L/min)(50Hz/60Hz) | 1,400/1,700 | 2,500/3,000 | 7,000/8,400 | 8,400 | 10,000 | 20,000 | 28,000/30,000 | 47,000/50,000 |
*Typical Application | MO-CVD -Large volume load lock- Other clean vacuum | Large volume load lock Other clean vacuum |