动态二次离子质谱仪

PHI ADEPT 1010动态二次离子质谱仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-03-07 17:24:34
2180
属性：
价格区间:面议；仪器种类:飞行时间；应用领域:化工,电子,综合；
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产品属性
价格区间
面议
仪器种类
飞行时间
应用领域
化工,电子,综合
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高德英特（北京）科技有限公司

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产品简介

动态二次离子质谱仪（D-SIMS）是使用一次离子束（通常是Cs源）轰击样品表面，而产生二次离子，然后用质谱分析仪分析二次离子的质荷比（m/q），从而得知元素在样品中的深度分布，是分析半导体掺杂和离子注入的强有力的工具。

详细介绍

优势

ULVAC-PHI 最新设计的四极杆-二次离子质谱仪ADPT1010，在原有的PHI6300和PHI6600的基础上，改善了离子光学系统，是在一次离子能量低至250eV时，仍保持有效的溅射束流的动态二次离子质谱系统（D-SIMS）。

 

特点

  1. 大束流低能量离子枪设计，极大的提高了深度分辨率

  2. 高性能离子光学系统，改善了二次离子传输效率，在提高分析效率的同时又提高了检测灵敏度

  3. 高精度全自动5轴样品操控台

  4. 不同方向进入检测器的二次离子，均可被高灵敏地收集检测

 

应用实例分析

采用一次离子源Cs在加速5kV束流为100nA的条件下，分析GaAs中注入的H，C，O元素。可以看到H检测限值7.1X1016 atm/cm3，O检测限值4.4X1015 atm/cm3，C检测限值2.0X1015 atm/cm3。

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