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FMS90R-25伺服电机高精度整体台面平移台
l⾏程覆盖25mm
l紧凑结构设计，体积⼩巧
l配合我们的控制器可做精度补偿
l坚固的台⾝设计
l免费标准版SDK
l⾼性能控制器
l可选配EtherCAT总线控制
产品简介
针对⾼精度光纤耦合和⾼精度三维调整市场应⽤，我们推出了针对性直流伺服FMS90R-25位移台，采⽤⽇本THK公司SP级交叉滚轴导轨，欧洲品牌的直流伺服⼀体化丝杠电机，大台面，薄机⾝，可与⽬前市⾯主流的进口光纤耦合位移台相媲美。
产品应用
l显微成像
l激光加⼯
l⾼速扫描
l精密测量
接线定义
反馈接⼝
反馈接⼝
产品图纸
产品参数
Model | FMS90R-25 |
⾏程(mm) | 25 |
负载(Kg) | 5 |
分辨率(μm) | 0.01 |
最⼩步进量(μm) | 0.1 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.07 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.05 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.05 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.03 |
定位精度/保证值(μm) | ±1.0 |
定位精度/典型值(μm) | ±0.5 |
最⼤速度(mm/s) | 25 |
直线度(μm) | 10 |
平整度(μm) | 10 |
偏摆(arcsec) | 15 |
俯仰(arcsec) | 15 |
重量(kg) | 1.2 |
