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MX63和MX63L半导体与平板显示器检测显微镜特别适合尺寸最大300毫米的晶圆、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计可让您根据需要选择组件，获得根据应用定制的系统。
这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时保持检测者的工作舒适性。在与奥林巴斯Stream图像分析软件结合使用情况下，可以简化从观察到报告生成的整体工作流。
半导体与平板显示器检测显微镜规格
| MX63 | MX63L | ||
| 光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正系统) | ||
| 显微镜镜架 | 反射光照明 | 白光LED (带有光强度控制器) 12伏100瓦卤素灯, 100瓦汞灯 明场/暗场/分光镜组件手动切换。(反射镜分光镜组件为选配件。) 通过手动操作调整3位编码分光镜组件 内置电动孔径光阑（针对所有物镜预设，暗场自动*打开） 观察模式：明场、暗场、微分干涉相衬（DIC）*1、简易偏光 *1、荧光 *1、红外 *1 和MIX观察（4个定向暗场）*2 *1选配分光镜组件，*2 需使用MIX观察配置 | |
| 透射光照明 | 透射光照明装置：需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光镜（NA 0.5）和孔径光阑 - MX-TILLB：聚光镜（NA 0.6），孔径光阑以及视场光阑 光源：LG-PS2 (12 V, 100 瓦卤素灯) 光导: LG-SF 观察模式: 明场、简易偏光 | ||
| 聚焦 | 行程：32毫米 每转行程微调：100微米 最小分度: 1微米 用于粗调的上限限位器和扭矩调节 | ||
| 最大载荷重量(包括载物台和支架) | 8公斤 | 15公斤 | |
| 观察筒 | 宽视场(FN 22毫米) | 正像三目镜筒：U-ETR4 正像、可调倾角三目镜筒: U-TTR-2 倒像三目镜筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于红外观察) 倒像双目镜筒: U-BI30-2 倒像可调倾角双目镜筒：U-TBI30 | |
| 超宽视场(FN 26.5毫米) | 正像可调倾角三目镜筒：MX-SWETTR (光程切换100% (目镜) : 0 (相机) 或 0 : 100%) 正像可调倾角三目镜筒: U-SWETTR (光程切换100% (目镜) : 0 (相机) 或 20% : 80%) 倒像三目镜筒: U-SWTR-3 | ||
| 电动物镜转换器 | 明场 明场和暗场 | ||
| 载物台 (X × Y) | 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC8R 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC6R2 | 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC1412R2 行程: 356 x 305毫米 透射光照射区域：356 x 284毫米 | |
| 重量 | 约35.6公斤 (显微镜架26公斤) | 约44公斤 (显微镜架28.5公斤) | |
